钽可旋转溅射靶
产品名称：钽管，钽毛细管
执行标准：B521-98 ASTM
品牌：RO5200，RO5400，RO5252（Ta-2.5W），RO5255（Ta-10W）
规格：直径1.0-150mm
厚度0.2-5.0MM
长度200mm-6000mm
化学成分
牌号 | 元组成 | 其他最大％ | |||||||||||
Ta | 铌 | 铁 | Si | 倪 | W | 莫 | 钛 | 铌 | O | C | H | N | |
Ta1 | 提醒 | - | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2 | 提醒 | - | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb3 | 提醒 | <3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb20 | 提醒 | 17.0〜23.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2.5W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3.0 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
如果用户有特殊要求，双方同意
表1.外径和壁厚公差
外径，英寸（mm） | 外径公差，英寸（mm），+/- | 壁厚公差，％，+/- |
<1（25.4） | 0.004（0.102） | 10 |
1〜1.5（25.4〜38.1） | 0.005（0.127） | 10 |
1.5〜2（38.1〜50.8） | 0.006（0.152） | 10 |
2〜2.5（50.8〜63.5） | 0.007（0.178） | 10 |
2.5〜3.5（63.5〜88.9） | 0.008（0.254） | 10 |
表二。 机械性能（退火）
年级 | 极限拉伸强度， 英寸磅（MPa）2 | 最小屈服强度， 磅/英寸2（MPa） | 伸长率，最小，％ 1英寸（25.4毫米）标记 |
RO5200 / RO5400 | 30000（207） | 20000（138） | 25 |
RO5252 | 40000（276） | 28000（193） | 20 |
RO5255 | 70000（481） | 60000（414） | 15 |
RO5240 | 40000（276） | 28000（193） | 20 |