钽靶为99.99%的平面靶

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产品名称: 钽溅射靶

执行标准:B708-98

规格:圆形目标直径(25-400)mm(3-28)mm *厚度

方形目标规格:厚度(1-12.7)mm *(10-600)mm *长度宽度(200-2000)mm

公差:直径公差为+ / - 0.254

品牌:RO5200,RO5400,RO5252(Ta-2.5W),RO5255(Ta-10W)

纯度:99.9%

重结晶:至少95%

粒径:最小40米

表面粗糙度:Ra 0.8最大

平整度:或0.1mm最大0.10%。

钽板靶

化学成分

Gr

主要

其他Max%

Ta

Si

W

O

C

H

N

Ta1

提醒

-

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta2

提醒

-

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

提醒

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

-

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

提醒

17.0〜23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

-

0.03

0.01

0.0015

0.01

Ta2.5W

提醒


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

提醒


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01




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