钽靶为99.99％的平面靶

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产品详情

产品名称： 钽溅射靶

执行标准：B708-98

规格：圆形目标直径（25-400）mm（3-28）mm *厚度

方形目标规格：厚度（1-12.7）mm *（10-600）mm *长度宽度（200-2000）mm

公差：直径公差为+ / - 0.254

品牌：RO5200，RO5400，RO5252（Ta-2.5W），RO5255（Ta-10W）

纯度：99.9％

重结晶：至少95％

粒径：最小40米

表面粗糙度：Ra 0.8最大

平整度：或0.1mm最大0.10％。

钽板靶

化学成分

Gr	主要		其他Max％
Gr	Ta	铌	铁	Si	倪	W	莫	钛	铌	O	C	H	N
Ta1	提醒	-	0.005	0.005	0.002	0.01	0.01	0.002	0.04	0.02	0.01	0.0015	0.01
Ta2	提醒	-	0.03	0.02	0.005	0.04	0.03	0.005	0.1	0.03	0.01	0.0015	0.01
TaNb3	提醒	<3.5	0.03	0.03	0.005	0.04	0.03	0.005	-	0.03	0.01	0.0015	0.01
TaNb20	提醒	17.0〜23.0	0.03	0.03	0.005	0.04	0.03	0.005	-	0.03	0.01	0.0015	0.01
Ta2.5W	提醒		0.005	0.005	0.002	3.0	0.01	0.002	0.04	0.02	0.01	0.0015	0.01
Ta10W	提醒		0.005	0.005	0.002	11	0.01	0.002	0.04	0.02	0.01	0.0015	0.01

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