产品名称： 钽溅射靶
执行标准：B708-98
规格：圆形目标直径（25-400）mm（3-28）mm *厚度
方形目标规格：厚度（1-12.7）mm *（10-600）mm *长度宽度（200-2000）mm
公差：直径公差为+ / - 0.254
品牌：RO5200，RO5400，RO5252（Ta-2.5W），RO5255（Ta-10W）
纯度：99.9％
重结晶：至少95％
粒径：最小40米
表面粗糙度：Ra 0.8最大
平整度：或0.1mm最大0.10％。
钽板靶
化学成分
Gr | 主要 | 其他Max％ | |||||||||||
Ta | 铌 | 铁 | Si | 倪 | W | 莫 | 钛 | 铌 | O | C | H | N | |
Ta1 | 提醒 | - | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2 | 提醒 | - | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb3 | 提醒 | <3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb20 | 提醒 | 17.0〜23.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2.5W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3.0 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
