产品名称: 钽溅射靶
执行标准:B708-98
规格:圆形目标直径(25-400)mm(3-28)mm *厚度
方形目标规格:厚度(1-12.7)mm *(10-600)mm *长度宽度(200-2000)mm
公差:直径公差为+ / - 0.254
品牌:RO5200,RO5400,RO5252(Ta-2.5W),RO5255(Ta-10W)
纯度:99.9%
重结晶:至少95%
粒径:最小40米
表面粗糙度:Ra 0.8最大
平整度:或0.1mm最大0.10%。
钽板靶
化学成分
Gr | 主要 | 其他Max% | |||||||||||
Ta | 铌 | 铁 | Si | 倪 | W | 莫 | 钛 | 铌 | O | C | H | N | |
Ta1 | 提醒 | - | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2 | 提醒 | - | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb3 | 提醒 | <3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb20 | 提醒 | 17.0〜23.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | - | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2.5W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3.0 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | 提醒 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |