Dec 19, 2016
应用工业及产品
类别分类
主要目标
陶瓷
透明导电目标
电气材料AZO，HAZO，GZO，ZnO，BZO
陶瓷材料Nb2Ox，TiO2，SiO2，CdS，Al2O3，SnO2，ZnS，WC
合金
目标铝合金AlNd，AlCu，AlTi，CrAl，TiCrAl，AlNd
铜合金CuGa，CuIn，CuInGa，CuNi，CuZn
镍合金NiCr，NiV，NiCu
锌合金ZnSn，ZnAl
其他合金MoNb，SiAl，InSn，MoTa，TiSi
回转
AZO，Nb2Ox，TiOx，SiAl，ZnSn，ZnAl，AlNd，MoNb，MoTa的目标化合物
Si，Cr，元素Al，Mo，Nb，Sn，SUS，Cu，Ti
金属靶平面Si和Al，Cr，Mo，In，Ti，Nb，Zn，SS，Sn，Ni，Ta，Cu
蒸发材料颗粒ITO颗粒，Ti块，Ni块
