Nb-zr溅射靶

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铌锆合金溅射靶(NbZr3,NbZr10,NbZr30)

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规格:圆形目标直径(20-400)mm(3-28)mm *厚度


方形目标规格:厚度(1-20)mm *(10-1000)mm *长度宽度(200-2000)mm


再结晶:至少95%

 

粒度:最小40米


表面粗糙度:Ra 0.8最大


平坦度:或0.1mm最大0.10%。


公差:直径公差为+ / - 0.127


纯度:NbZr3(97%纯钽,3%纯锆)


NbZr10(90%纯钽,10%纯锆)


NbZr30(70%纯钽,30%纯锆)


如有特殊要求,双方同意

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