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Industry

多层光学镀膜机技术参数清单

Nov 14, 2016

模型

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

涂装室尺寸

1050 * 1250304不锈钢。

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

涂层腔体尺寸

夹具从地面支撑1680mm,适合人工操作。

夹具从地面支撑1468mm,适合人工操作。

夹具从地面支撑1510mm,适合人体工程操作。

1拱形单件工件,在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min,无级变速。

2拱型三工件板,行星旋转,在更大程度上满足客户的生产需求。 旋转5-30r / min,无级变速。

模具夹具

对于四件,支架角度可以更大程度上调整,以满足客户需求的一致性。 旋转5-30r / min,无级变速。

拱形单件工件,在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min,无级变速。

拱形单件工件,在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min,无级变速。

真空系统

单位:扩散泵DIP-12000(赖宝),ZJY-300 2X-70根泵,机械泵,泵维修2X-8。 304不锈钢管。

单位:扩散泵KT-400(振华),ZJY-150 2X-70根泵,机械泵,泵维修2X-8。

单位:扩散泵KT-600(振华),ZJY-600 2X-70根泵,机械泵,泵维修2X-8。

单位:扩散泵KT-800(振华),ZJY-600 2X-70根泵,机械泵,泵维修2X-8。

极限真空度:优于4 x Pa 10-4。

配置防湍流设备,安全联锁设计,手动,自动可选。

加热系统

加热管加热方式,PID控制,最高350 C + 1.5。

燃气通胀

气体质量流量控制仪表或手动微调充气阀。

真空电离轰击

DC 3KV,06KW棒阴极(用于在工件自清洁前进行涂层)。

蒸发源(可选)

1 TELEMARK-270电子枪(进口),6KW,高压4KV-10KV可调。 扫描,扫描,圆扫和螺旋扫描。 光斑的焦点好,定位精度高,重现性好。

2国产电子枪(振华):6KW,高压4KV〜8KV可调,可自由选择三角波,正弦波,方波扫描。

3:六孔坩埚Phi 38 * 20或四孔坩埚Phi 38 * 20加87点中心弧电弧坩埚(大量低熔点蒸发材料)或四点与48 x 18坩埚。

离子源(可选)

1射频(射频)离子源(导入)。

2 5KVA Holzer离子源(振华山),用于电镀前清洗或电镀工艺辅助电镀,有利于提高薄膜的折射率,硬度,提高薄膜密度,附着力。

薄膜厚度控制系统(选择)

1.MDC-360晶体控制装置(进口)可存储1〜99层自动涂层工艺,99种程序数据,精度0.5%+ 1固定误差。 2TELEMARK-880晶体控制器(进口):可存储1〜99层自动涂层工艺,99种程序数据。 精度0.5%+ 1固定误差。

3.TELEMARK-820光控制器(导入):全光谱端采用多波长分析技术,通过传输监测370-870 mm(或反射)曲线分析确定胶片的末端。 控制精度高,可以使用单波长控制,自动控制和手动控制。 附加的MACILEOD膜系统计算软件,高度整合。

具有TELEMARK-880控制器的TELEMARK-820光控制器可以高精度和高重复性要求满足晶体膜。 与主机可实现自动控制。

5个国产光电控制器(如9704型支持单色仪波长330〜870等)可调,精度可达1.5nm。

手动装置

带磁性底座,可放置在真空室门和控制柜任意位置。