Nov 14, 2016
模型
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
涂装室尺寸
1050 * 1250304不锈钢。
800 * 1000
900 * 1050
1200 * 1250
涂层腔体尺寸
夹具从地面支撑1680mm，适合人工操作。
夹具从地面支撑1468mm，适合人工操作。
夹具从地面支撑1510mm，适合人体工程操作。
1拱形单件工件，在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min，无级变速。
2拱型三工件板，行星旋转，在更大程度上满足客户的生产需求。 旋转5-30r / min，无级变速。
模具夹具
对于四件，支架角度可以更大程度上调整，以满足客户需求的一致性。 旋转5-30r / min，无级变速。
拱形单件工件，在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min，无级变速。
拱形单件工件，在更大程度上满足客户的一致性需求。 旋转5-30r / min，无级变速。
真空系统
单位：扩散泵DIP-12000（赖宝），ZJY-300 2X-70根泵，机械泵，泵维修2X-8。 304不锈钢管。
单位：扩散泵KT-400（振华），ZJY-150 2X-70根泵，机械泵，泵维修2X-8。
单位：扩散泵KT-600（振华），ZJY-600 2X-70根泵，机械泵，泵维修2X-8。
单位：扩散泵KT-800（振华），ZJY-600 2X-70根泵，机械泵，泵维修2X-8。
极限真空度：优于4 x Pa 10-4。
配置防湍流设备，安全联锁设计，手动，自动可选。
加热系统
加热管加热方式，PID控制，最高350 C + 1.5。
燃气通胀
气体质量流量控制仪表或手动微调充气阀。
真空电离轰击
DC 3KV，06KW棒阴极（用于在工件自清洁前进行涂层）。
蒸发源（可选）
1 TELEMARK-270电子枪（进口），6KW，高压4KV-10KV可调。 扫描，扫描，圆扫和螺旋扫描。 光斑的焦点好，定位精度高，重现性好。
2国产电子枪（振华）：6KW，高压4KV〜8KV可调，可自由选择三角波，正弦波，方波扫描。
3：六孔坩埚Phi 38 * 20或四孔坩埚Phi 38 * 20加87点中心弧电弧坩埚（大量低熔点蒸发材料）或四点与48 x 18坩埚。
离子源（可选）
1射频（射频）离子源（导入）。
2 5KVA Holzer离子源（振华山），用于电镀前清洗或电镀工艺辅助电镀，有利于提高薄膜的折射率，硬度，提高薄膜密度，附着力。
薄膜厚度控制系统（选择）
1.MDC-360晶体控制装置（进口）可存储1〜99层自动涂层工艺，99种程序数据，精度0.5％+ 1固定误差。 2TELEMARK-880晶体控制器（进口）：可存储1〜99层自动涂层工艺，99种程序数据。 精度0.5％+ 1固定误差。
3.TELEMARK-820光控制器（导入）：全光谱端采用多波长分析技术，通过传输监测370-870 mm（或反射）曲线分析确定胶片的末端。 控制精度高，可以使用单波长控制，自动控制和手动控制。 附加的MACILEOD膜系统计算软件，高度整合。
具有TELEMARK-880控制器的TELEMARK-820光控制器可以高精度和高重复性要求满足晶体膜。 与主机可实现自动控制。
5个国产光电控制器（如9704型支持单色仪波长330〜870等）可调，精度可达1.5nm。
手动装置
带磁性底座，可放置在真空室门和控制柜任意位置。
